SDR™ CVD 反應爐

極特先進科技是用於生產多晶矽的化學氣相沉澱 (CVD) 反應爐的市場領導者。我們的 SDR™ 反應爐系列相較于其他產品而言，能生產出更多用於太陽能行業中的多晶矽。我們的 CVD 還原爐是利用業已證明的西門子製程法生產半導體級或太陽能級高品質多晶矽的高容量生產爐。

GT 的 CVD 反應爐 SDR 系列在較低的維修製程平臺上也具備穩定性和可重複性，這在高產量生產環境中必不可少。

SDR 系列還原爐產能

• 超過 300MTA 的 SDR-300
• 超過 400MTA 的 SDR-400

SDR 系列能耗 

• 50 千瓦時/公斤矽

SDR 系列還原爐成套產品 

• 基本工程方案 (BEP)，包括操作和維護手冊
• CVD 反應爐
• 電源
• 變壓器
• 遠端故障排除能力
• 設備啟動支援
• 製程審核支持