矽烷模組化生產裝置

極特先進科技提供完整的矽烷模組化生產裝置，採用獨立式設備設計為半導體和太陽能生產 VLSI 級別的矽烷。GT 模組 500-1000 MTPA 矽烷生產工廠正建設使用高效的結構性模塊，以減少現場作業和安裝時間。矽烷生產模組化包括工作實踐控制和標準化，透過其伸縮性提供靈活性，在降低成本的同時提高啟動速度。GT 矽烷生產模組化可在 24 月內交付高品質的矽烷。

矽烷模組化生產裝置成套產品：

• 現場評估
• 塊型流程圖
• 管路與測量儀器圖
• 基礎工程服務 (BEP)
• 設備與結構
• 管理安裝技術人員培訓
• 啟動調試
• 操作指導
• 分析儀器
• 控制系統

其他模組化矽烷生產裝置選用配件：

• 從現有多晶矽生產廠提供三氯矽烷 (TCS) （合同外）給矽烷廠。反過來，矽烷廠將四氯矽烷 (STC) 輸送回現有的四氯矽烷 (STC) 氫化製程設施 (合同外)
• 由外界向矽烷廠提供三氯矽烷 (TCS) 或四氯矽烷 (STC) (合同外)，該矽烷廠具有四氯矽烷 (STC) 氫化和尾氣回收功能