三氯矽烷 (TCS) 生產技術解決方案

極特先進科技提供完整的 TCS 生產技術成套方案，能使用氫氯化技術提高多晶矽生產的效率並降低成本。通過氫氯化技術生產 TCS 不僅可減少 10% 到 15% 的資本投資，還能減少 15% 的年運營成本。節約成本的基礎是將耗電巨大的 STC 轉化爐從生產製程中撤除。

GT 的 TCS 生產技術解決方案將 TCS 融入 SDR 化學氣相沉積 (CVD) 反應爐，既能降低生產成本又能提高投資回報。

TCS 產品技術解決方案成套產品：

• 基礎工程服務 (BEP)
• 設備模組化製程工廠
• 操作說明分析支援
• 調試/啟動運轉支援
• 包裝與運輸專業知識